無塵車間在廠房凈化工程中又被稱為凈化車間、無塵室、潔凈室,對空氣潔凈度、溫度、壓力以及密封性等都有著高標(biāo)準(zhǔn)要求。然而,在無塵廠房裝修建設(shè)中,像半導(dǎo)體電子潔凈間的潔凈度要求通常都在10萬級標(biāo)準(zhǔn)以上,微??刂剖謬?yán)格,要求控制在0.02µm,甚至更小粒徑。

•3000平電子車間無塵廠房裝修效果圖
本案例是一個(gè)3000平電子車間無塵廠房裝修項(xiàng)目,設(shè)計(jì)上滿足潔凈環(huán)境的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝幺求,并根據(jù)使用情況做了后續(xù)產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)展工藝改進(jìn)的空間預(yù)留。設(shè)計(jì)方案功能上嚴(yán)格執(zhí)行國家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)范。
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根據(jù)電子廠對無塵車間的要求,我們對潔凈區(qū)的溫度和相對濕度做了進(jìn)一步確定,單向流和混合流潔凈區(qū)以及非單向流區(qū)域的噪聲級分別做了不大于65db和60db的調(diào)整。要知道,電子類的潔凈廠房垂直單向流的空間包括吊頂以上的技術(shù)夾層。
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電子潔凈廠的耐火等級不應(yīng)低于二級,廠房內(nèi)部防火分區(qū)的劃分,應(yīng)符合《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》有關(guān)的國家規(guī)定,專用消防口的設(shè)計(jì),符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》的有關(guān)規(guī)定。
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與此同時(shí),電子車間無塵廠房裝修對潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級、平均風(fēng)速、換氣次數(shù)有著明確要求,送風(fēng)量和氣流流型可以參考以下靜態(tài)標(biāo)準(zhǔn):
1.空氣潔凈度等級1~5的單向流或混合流,平均每秒風(fēng)速0.2~0.045;
2.空氣潔凈度等級6的非單向流,換氣次數(shù)50~60次;
3.空氣潔凈度等級7的非單向流,換氣次數(shù)15~25次;
4.空氣潔凈度等級8~9的非單項(xiàng)流,換氣次數(shù)10~15次。
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此外,對排風(fēng)系統(tǒng)中含有毒性、爆炸性的危險(xiǎn)物質(zhì)的排氣管路,需保持一定的負(fù)壓值,且事故排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)的換氣次數(shù)不應(yīng)小于12次/h,自動和手動控制開關(guān)應(yīng)分別設(shè)置在潔凈區(qū)外便于操作的地點(diǎn)。